8月28日~29日，2023集成電路用硅基氣體研討會(huì)在洛陽(yáng)召開。
會(huì)議由集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟、洛陽(yáng)中硅高科技有限公司共同承辦，匯聚了來(lái)自業(yè)內(nèi)知名單位的專家60余名。與會(huì)專家分別從晶圓制造、裝備、硅材料、硅基氣體、閥門、鋼瓶及氣體檢測(cè)等諸多集成電路細(xì)分領(lǐng)域，進(jìn)行了深入研討。會(huì)議期間，先后組織召開了硅基氣體、硅基材料對(duì)接、團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)等多場(chǎng)高質(zhì)量專題研討會(huì)。
會(huì)上，洛陽(yáng)市副市長(zhǎng)牛剛、中硅高科董事長(zhǎng)張合文分別致辭。
牛剛介紹了洛陽(yáng)在發(fā)展集成電路相關(guān)領(lǐng)域的建設(shè)情況和營(yíng)商環(huán)境，通過(guò)重點(diǎn)項(xiàng)目的建設(shè)，洛陽(yáng)以實(shí)際行動(dòng)助力國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)鏈安全水平的提升。
張合文以中硅高科二十年為節(jié)點(diǎn)，通過(guò)中硅高科“擔(dān)國(guó)家責(zé)任，補(bǔ)基礎(chǔ)材料短板”的企業(yè)使命，介紹了中硅高科硅基材料新產(chǎn)品的攻關(guān)進(jìn)展，展望了硅基氣體未來(lái)的發(fā)展，并表示中硅高科愿與同行共話芯產(chǎn)業(yè)共謀芯發(fā)展。
中硅高科副董事長(zhǎng)、總經(jīng)理、黨委副書記萬(wàn)燁作了《以創(chuàng)新賦能產(chǎn)業(yè)升級(jí) 譜寫硅基材料產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展新篇章》的專題報(bào)告。北方華創(chuàng)供應(yīng)鏈工程技術(shù)中心總經(jīng)理曹永友博士、集成電路材料創(chuàng)新聯(lián)盟標(biāo)準(zhǔn)化專員王大方、中國(guó)原子能工業(yè)有限公司主管范學(xué)振等業(yè)內(nèi)專家，分別作了《半導(dǎo)體潔凈制造及SEMI標(biāo)準(zhǔn)在氣體輸送系統(tǒng)的應(yīng)用》《標(biāo)準(zhǔn)鑄立品牌 創(chuàng)新引領(lǐng)發(fā)展》 《集成電路閥門國(guó)產(chǎn)化進(jìn)展和思考》的專題報(bào)告。
聯(lián)盟秘書長(zhǎng)石瑛在專題研討及專家發(fā)言后，作了全面總結(jié)，她充分肯定了中硅高科對(duì)行業(yè)發(fā)展做出的積極貢獻(xiàn)，并就下一步的行業(yè)發(fā)展提出明確希望和建議。
隨后，與會(huì)專家認(rèn)真聽取了由中硅高科牽頭制定的《集成電路用四氯化鈦中雜質(zhì)含量的測(cè)定-電感耦合等離子體質(zhì)譜法》標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)容的介紹，就行業(yè)現(xiàn)狀、發(fā)展趨勢(shì)、聯(lián)盟工作等進(jìn)行了探討，大家一致認(rèn)為行業(yè)發(fā)展要依靠創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)，以客戶需求為導(dǎo)向，走高質(zhì)量發(fā)展之路。在熱烈的掌聲中大會(huì)圓滿結(jié)束。
會(huì)議期間，與會(huì)專家到中硅高科新投產(chǎn)的電子信息材料轉(zhuǎn)型升級(jí)項(xiàng)目（孟津工廠）進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)參觀。
